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회사소개

(주)펨빅스는 독자 개발한 혁신적인 코팅 기술(Universal Deposition Technology)을 통하여 첨단 부품소재 산업의 Solution Provider를 목표로 하고 있으며, 반도체 생산 장비의 표면 제어 솔루션(Surface Control Solution), 고기능성 Ceramic 복합 소재 코팅 솔루션 등 다양한 분야의 핵심 기술을 구현합니다.

기술소개

UD Coating Technology
반도체/디스플레이/LED 제조공정장비 부품의 기능성 코팅
  • 내Particle 부착성 · 내식 · 내화학 · 내플라즈마 세라믹 코팅
  • Etch/Thin Film 공정 챔버 부품의 기능성 코팅
    (Ceramic Plate, Liners, AlN Heater, Shower Head, ESC, etc.)
고기능성 Ceramic 복합 소재 코팅
  • Ceramic Capacitor, RF Chip
  • 2차전지, 연료전지 소재
  • 고절연저항 및 방열 소재
  • Sensor 및 Motor류 소재